Naskah orasi ini akan diawali dengan uraian singkat perkembangan teknologi fabrikasi sensor pencemaran lingkungan berbasis teknologi thick-film, thin-film, dan micromachining/MEMs. Sebagai kontribusi utama dalam kemajuan teknologi di tanah air, naskah orasi ini kemudian akan menjelaskan bagaimana teknologi micromachining dan thin-film bisa dimanfaatkan untuk fabrikasi sensor gas serta teknologi…